本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺（PSPI)这一种新型工程高分子材料固化 的专用设备，烘箱温度最高可达450°c
性能特点：
♦真空度可达10 Pa
♦箱体内氧含量：≤20ppm，提供氧含量检测接口
♦曰本优易控触摸屏，升降温斜率控制
♦内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作
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型号MODEL |
SXYJ-1 |
SXYJ-2 |
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内箱尺寸（H*W*D) CM Interior dimensions |
20*20*40 |
30*30*60 |
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温度范_ Temp.range |
RT+20°C 〜450°C |
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温度波动度 Temp.constancy |
士 0.5°C |
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真空度 |
lOpa |
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氧含量 |
≤20ppm |
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内箱材质 Interior material |
SuS316 不锈钢 Stainless Steel Plate |
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外箱材质 Exterior material |
钢板静电喷涂表面处理Baked Painting Steel |
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保温材料 Insulatio material |
硅酸锦纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton |
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保护装置 Safety devices |
声光报警器超温保护器Audible and visual alarm，Over Temp |
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功率（kva) |
9.0 |
12.0 |
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电源 |
AC380V±10%3φ 50HZ |
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*欢迎订制不同规格尺寸的非标准烘箱
